16114

ساخت I2L و راه اندازي آزمايشگاه

تهران

دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده مهندسي برق

1375

0

I2L , راه اندازي آزمايشگاه , طراحي

... در اين گزارش در رابطه با آماده سازي آزمايشگاه صحبت شده و در رابطه با راه اندازي دستگاههاي آب بدون يون ، كوره هاي اكسيدكننده و نفوذ و همچنين تهيه اتاقك تميز براي عمليات ليتوگرافي توضيح داده شده است