شماره ركورد
23136
عنوان
توليد اشعه يوني با جريان بالا بوسيله منبع كافمن تهيه شده توسط صدور الكترون از نوكهاي فلزي و بكارگيري سيستم فوق در ساخت دستگاه لايه نشاني به روش اسپاترينگ
محل نشر
تهران
ناشر
سازمان انرژي اتمي ايران - مركز تحقيقات هسته اي - تهران
تاريخ
1377
تعداد صفحه
0
كليدواژه
اشعه يوني , منبع كافمن , صدور الكترون , نوكهاي فلزي , روش اسپاترينگ , دستگاه لايه نشاني
لينک به اين مدرک