• شماره ركورد
    23136
  • عنوان

    توليد اشعه يوني با جريان بالا بوسيله منبع كافمن تهيه شده توسط صدور الكترون از نوكهاي فلزي و بكارگيري سيستم فوق در ساخت دستگاه لايه نشاني به روش اسپاترينگ

  • محل نشر
    تهران
  • ناشر
    سازمان انرژي اتمي ايران - مركز تحقيقات هسته اي - تهران
  • تاريخ
    1377
  • تعداد صفحه
    0
  • كليدواژه

    اشعه يوني , منبع كافمن , صدور الكترون , نوكهاي فلزي , روش اسپاترينگ , دستگاه لايه نشاني