كليدواژه :
ساخت , نمونه هاي لايه اي نازك , نمونه هاي چندلايه اي ، نازك , خواص الكتريكي , خواص نوري , لايه هاي نازك فلزي
چكيده :
نظر به كاربرد وسيع لايه هاي نازك فلزي ، نيمه رسانا و عايق دربخش هاي مختلف صنعت و تكنولوژي ، مطالعه و بررسي چگونگي ساخت و اندازه گيري پارامترهاي فيزيكي آنها از جمله مسايل تحقيقاتي است كه همچنان مورد توجه پژوهشگران ميباشد ... هدف اصلي طرح فوق ايجاد و توسعه آزمايشگاه لايه گذاري براي نيل به اهداف فوق ميباشد ....
