عنوان :
تهيه SI از تركيبات گازي سيليكون
ناشر :
مركز پژوهشهاي خواص و كاربرد مواد و نيرو
كليدواژه :
صنايع الكترونيكي , }si{ , نيمه هاديها , تركيبات گازي , سيليكون , پلي سيليكون
چكيده :
سيليكون يكي از مواد استراتژيك در تكنولوژي امروز بوده اگر چه كاربردهايي در صنايع شيشه سراميك ، متالوژي ، پتروشيمي دارد، اما كاربرد عمده آن در صنايع ساخت قطعات نيمه هادي است بطوري كه ميتوان ادعا كرد بدون وجود اين ماده صنايعي به اسم صنايع ساخت قطعات الكترونيك قابل تصور نيست هدف از اجراي اين پروژه تهيه سيليكون خالص با استفاده از تركيبات گازي آن از قبيل }SH4, SIECI3, SICI4{ است
