عنوان :
ساخت و مطالعه لايه هاي نازك حفاظتي بر روي لايه هاي مس
ناشر :
دانشگاه صنعتي شريف ، معاونت پژوهشي ، دانشكده فيزيك
كليدواژه :
لايه هاي مس , ساخت لايه هاي نازك حفاظتي
چكيده :
مس بهترين جانشين براي فلز آلومينيوم بعنوان اتصالات الكتريكي در قطعات ميكرو و نانو الكترونيك است از اينرو در سالهاي اخير توجه زيادي به استفاده و رفع مشكلات آن شده است ...
