شماره ركورد :
9498
عنوان :
ساخت و بررسي لايه نازك كربن
محل نشر :
تهران
ناشر :
دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك
تاريخ :
1375
تعداد صفحه :
0
كليدواژه :
لايه نازك كربن
چكيده :
لايه نازك كربن هيدروژن دار به روش پلاسما }DC{ از گاز سوختني در شرايط معين بر روي زير لايه هاي مشخص })Cu, Si, Al, Steel({ ساخته شده است انباشت بر روي زير لايه هاي با درجه حرارت 300 تا 400 درجه كلوين ، در شرايط خلاء با فشار كاهش يافته و اختلاف پتانسيل 500 ولت بين آند و كاتد انجام گرفته است ...
لينک به اين مدرک :
بازگشت