شماره ركورد :
19819
شماره مدرك :
4367446
نويسنده/تنالگان :
Nicolas Posseme
عنوان :
Plasma Etching Processes for Interconnect Realization in VLSI
اطلاعات نشر :
Elsevier
سال نشر :
2015
شابك :
1785480154
Link To Document :
بازگشت