شماره ركورد كنفرانس :
2956
عنوان مقاله :
پوشش دهي تانتالوم ضخيم با ساختار نانو كريستالي BCC بر روي زير لايه فولادي به روش كند و پاشي مغناطيسي و بررسي ساختار و خواص آن
پديدآورندگان :
كوهي همپا بهنام نويسنده , صالح جمشيدي محمد نويسنده , زارع محمد نويسنده
كليدواژه :
تانتالوم , كندوپاشي مغناطيسي , ساختار كريستالي BCC , نانو ساختار
عنوان كنفرانس :
سمپوزيوم نانو 93
چكيده فارسي :
تانتالوم دارای دو فاز آلفا و بتا میباشد كه فاز آلفای آن چقرمه و مقاوم در برابر شوك حرارتی و فاز بتای آن ترد با سختی بالا می باشد. لذا اولویت در این تحقیق، یافتن شرایط بهینه برای رشد فاز آلفا بود. در لایه نشانی تانتالوم به روش كند و پاشی مغناطیسی پارامترهای مختلفی همچون توان اعمالی، فشار كاری و دمای زیرلایه تاثیر به سزایی در ساختار، خلوص و فاز پوشش دارند. نتیجه قابل توجه در این تحقیق، پوشش دهی تانتالوم نانو ساختار با ضخامت ۱۷ میكرون و ساختار كریستالی BCC در توان ۴۰ وات و دمای C ۲۰۰ بر روی زیرلایه فولادی می باشد. تمیزكاری نهایی زیر لایه با روش اسپاتر اج در یكنواختی پوشش و ایجاد فاز مناسب موثر است. لازم به ذكر است كه پوشش دهی تانتالوم با این ضخامت، برای اولین بار است كه به روش كندوپاشی مغناطیسی ایجاد می شود. یكنواختی مورفولوژی پوشش و درصد بالای تانتالوم توسط میكروسكوپ الكترونی روبشی و آنالیز تركیب شیمیایی مشاهده گردید. همچنین نشان داده شد كه سختی لایه در مقایسه با زیرلایه فولادی افزایش قابل توجهی داشت
شماره مدرك كنفرانس :
4461004
