شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
به كارگيري روش هم بستگي در اندازه گيري ضخامت لايه هاي نانومتري اپتيكي از روي تداخل نگاشت فيزو
پديدآورندگان :
خسروي زهره نويسنده استاد گروه روانشناسي دانشگاه الزهرا (س) , حاجي محمودزاده مرتضي نويسنده , فلاح حميدرضا نويسنده , مستجاب الدعواتي مجتبي نويسنده
كليدواژه :
روش همبستگي , لايه نازك , ضخامت سنجي
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
report iconخلاصه مقاله:
لايه هاي اپتيكي نانومتري روي شيشه در خلا تهيه شد. ضخامت آنها به صورت بلادرنگ با بلور كوارتز پايشگري و كنترل مي شود و جهت زينه بندي كردن دستگاه، ضخامت لايه ها به روش اپتيكي اندازه گيري شد. به اين منظور، تداخل سنج فيزو براي ثبت فريزهاي تداخلي ناشي از پله، به كار گرفته شد. سپس در اين كار روش جديد و دقيق تر همبستگي، براي يافتن ضخامت لايه هاي نازك در ابعاد نانومتري معرفي و به كاررفت. ضخامت پله نشانده شده با دو روش ميانگين گيري و همبستگي اندازه گيري و نتايج ثبت گرديد. دقت بالاتر، كاهش نوفه و امكان ضخامت سنجي لايه هاي با ضخامت بيش از نيم طول موج، از مزيت هاي اين روش است. همه نتايج در توافق بسيار خوبي با عدد اعلام شده توسط بلور كوارتز هستند.
كلمات كليدي:
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
