ساخت لايه هاي نازك نانو كامپوزيت مس- نقره-پالاديوم به روش لايه نشاني مغناطيسي DC و بررسي مورفولوژي سطح

Fabrication of Ag-Cu-Pd nanocomposite thin films by DC magnetron sputtering and characterization of surface morphology

در این مقاله به بررسی مورفولوژی سطح لایه های نازك نانو كامپوزیت مس-نقره-پالادیوم می پردازیم كه به روش لایه نشانی مغناطیسی DC با استفاده از هدف مس-نقره-پالادیوم در محیط گاز آرگون لایه نشانی شده اند. این نانوكامپوزیت ها در سه ضخامت 26،34 و 40 نانومتر بر روی زیر لایه های سلیكون رشد داده شده اند. طیف اشعه X نمونه ها بر تشكیل نانو ذرات مس، نقره و پالادیوم با ساختار بلوری FCC دلالت دارد. توپوگرافی سطح نمونه ها با استفاده از تصاویر میكروسكوپ نیروی اتمی، آنالیز فراكتال و تابع چگالی (PSD) در ابعاد 1µm × 1µm مورد بررسی قرار گرفت.

This paper analyses the three dimensional (3-D) surface morphology of Ag – Cu – Pd nanocomposite thin filmsprepared by Direct–Current (DC) magnetron sputtering using Argon gas and Ag – Cu – Pd target. Thesenanocomposites were deposited on Si substrate and investigated at three thickness (26 , 34 and 40 nanometers)X-Ray diffraction profile of samples indicate that Cu NPs, Ag NPs and Pd NPs with fcc crystalline are formedin this films. The thin films were studied by combination of atomic force microscopy (AFM), fractal analysis andpower spectral density (PSD f)function over square area of 1µm x1µm to evaluate the structure and relation among the 3D micro-textured surface.