تاثير ميزان و جريان گاز آرگون روي تك بلورهاي صنعتي سيليكون توليد شده به روش چكرالسكي

گاز آرگون به عنوان یك محیط محافظ و انتقال دهنده حرارت تاثیر مهمی روی توزیع دما در بلور و مذاب دارد. در این مقاله ارتباط بین جریان گاز آرگون و كیفیت بلور رشد داده شده مورد مطالعه قرار می گیرد. در ابتدا جریانی از گاز آرگون ارائه می گردد كه به وسیله شبیه سازی های عددی صورت گرفته در مقالات تعیین شده است و سپس نتایج آزمایشی بدست آمده مورد مقایسه و تحلیل قرار گرفته و میزان بهینه جریان گاز آرگون تعیین گردید.

Argon gas as a protective environment and heat transferor has an important effect on distribution of heat in bot silicon single crystal and melt. In this paper, relationship between argon flow gas and quality of grown crystal has been analyzed. First, a flow of argon gas offers that come from numerical simulation in literatures and after that achieved experimental results were examined and the optimum amount of argon flow gas was determined