بررسي تجربي تاثير دما بر خواص اپتيكي لايه نازك نيتريد زيركونيوم ZrN

report iconخلاصه مقاله: لايه هاي نازك نيتريد زيركونيوم (ZrN) با روش كندوپاش باريكه يوني (IB) روي زيرلايه شيشه تهيه شده است. از اين لايه هاي نازك در محدوده nm1200-200 طيفهاي بازتابي به روش طيف سنجي UV-Vis گرفته شده و از روابط كرامرز - كرونيگ براي محاسبه پارامترهاي اپتيكي و دي الكتريكي لايه هاي نازك ZrN استفاده شد. مشخصه مورفولوژيك سطح لايه ها توسط آناليز AFM مورد مطالعه قرار گرفت. از عكسهاي AFM اينطور مشاهده شد كه افزايش دما باعث افزايش زبري سطح نمونه ها مي شود. خواص اپتيكي با افزايش دما و در نتيجه زبري افزايش مي يابد. كلمات كليدي: ، ،