شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
ايجاد طرح هاي ميكروني روي نمونه هاي فلزي و غيرفلزي با استفاده از ليزر پالسي اگزايمر
پديدآورندگان :
فتح اله زاده نجيبه نويسنده دانشگاه ولي عصر رفسنجان، گروه فيزيك , سويزي مهدي نويسنده , خان زاده محمد نويسنده , مرعشي محمدباقر نويسنده دانشگاه ولي عصر رفسنجان، گروه فيزيك
كليدواژه :
طرح هاي ميكروني , لايه نشاني , ليزر اگزايمر
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
report iconخلاصه مقاله:
در اين مقاله باتابش نور ليزر اگزايمر پالسي، طرح هايي با ابعاد ميكروني برروي نمونه هاي فلزي و غيرفلزي ايجاد نموده ايم. مراحل انجام كار به سه بخش لايه نشاني، توليد ماسك و نوردهي نمونه تقسيم شده است. درابتدا به روش تبخير حرارتي لايه اي از مس روي زيرلايه قرار گرفته است. سپس طرح مورد نظر در ابعاد ميلي متري روي لايه مسي ايجاد شده است. در انتها با تصوير كردن طرح ماسك روي نمونه ، طرح هاي ميكروني روي نمونه هاي مختلف ايجاد شده است.
كلمات كليدي:
ليزر اگزايمر
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
