سنتز نانوسيم هاي اكسيد قلع به روش بخار- مايع - جامد (Vapor-Liquid-Solid)

Synthesise of tin oxide nanowire by vapor-liquid- solid

در اين پروژه نانوسيم هاي اكسيد قلع با فرآيند تبخيرحرارتي و به روش VLS بر روي زيرلايه سيليكون در كوره تونلي در دماي 900درجه سانتيگراد سنتز شد. كاتاليست مورد استفاده طلا بود كه به روش الكترون بيم و ضخامت nm5 بر روي زيرلايه سيليكون لايه نشاني شد. سپس براي بررسي نانوسيم هاي بدست آمده از آناليز SEM,EDX و XRD استفاده شد. نتايج بدست آمده از SEM نشان ميدهد كه قطر نانوسيم هاي بدست آمده در بازه nm 50-100 است و بر اساس نتايج XRD مشخص شد كه آنها داراي ساختار تتراگونال هستند

In this paper,SnO2 nanowires have been successfully prepared by Vapor-Liquid-Solid mechanism on silicon substrat.Employing SnO as the atarting material and Au as the catalyst.The grow of nanowire carried out in ahorizontal tube France at 900Cْ temperature. The morphology and microstructure of nanowire are characterized by means of scanning electron microscopy(SEM) and X-ray diffraction. The SEM images reveal that diameter of nanowires is about 50-100 nm and the result of X-ray diffraction indicate the typical rutile phase SnO2 nanowire.