شماره ركورد كنفرانس :
3446
عنوان مقاله :
ساختار فوق حساس میكروفون خازنی MEMS با استفاده از دیافراگم دو تكه پیستونی
پديدآورندگان :
محمد رضا محلوجی
كليدواژه :
دیافراگم دو تكه , حساسیت , فركانس تشدید , میكروفون خازنی میكرو الكترومكانیكی
كشور :
ايران
نويسنده :
جواد كوهسرخی
كلمات كليدي :
دیافراگم دو تكه ، حساسیت، فركانس تشدید ، میكروفون خازنی میكرو الكترومكانیكی
لينک به اين مدرک :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=36&DC=132793
