• شماره ركورد كنفرانس
    3446
  • عنوان مقاله

    ساختار فوق حساس میكروفون خازنی MEMS با استفاده از دیافراگم دو تكه پیستونی

  • پديدآورندگان

    محمد رضا محلوجی

  • كليدواژه
    دیافراگم دو تكه , حساسیت , فركانس تشدید , میكروفون خازنی میكرو الكترومكانیكی
  • كشور
    ايران
  • نويسنده
    جواد كوهسرخی
  • كلمات كليدي
    دیافراگم دو تكه ، حساسیت، فركانس تشدید ، میكروفون خازنی میكرو الكترومكانیكی
    • لينک به اين مدرک
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=36&DC=132793