تاثير شكل سطح مقطع پيچه روي ميدان هاي الكترومغناطيسي و گرماي القائي در سيستم هاي رشد بلور از مذاب

Influence of coil cross section shape on the electromagnetic fields and induction heating in melt crystal growth systems

در اين مقاله ميدان هاي الكترومغناطيسي و گرماي القايي توليد شده در بوته و گرم كننده جانبي فعال براي يك سيستم رشد بلور چكرالسكي براي پيچه با سطح مقطع هاي مختلف به كمك روش عناصر متناهي محاسبه شده است. نتايج محاسبات بيانگر اهميت شكل سطح مقطع پيچه القايي روي توزيع ميدان هاي الكترومغناطيسي و گرماي القايي در سيستم رشد مي باشد.

In this paper electromagnetic fields and induction heat generated within the crucible and active afterheater in a Czochralski crystal growth system have been calculated for different cross section shapes of the coil using finite element method. The calculation results show the importance of cross section shape of the RF-coil turns on the distribution of electromagnetic fields and heat generation in the growth system.