نقش كاتاليست و دماي بازپخت بر خواص ساختاري نانو ذرات TiO2

Investigation the Effect of Catalyst and Annealing on Structural and Morphological Properties of TiO2 Nanoparticles

در اين پژوهش رشد نانو ذرات TiO2 با ابعاد حدود 49nm به روش تبخير حرارتي درخلاء بر روي زير لايه Si مورد بررسي قرار گرفته است. به منظور كنترل رشد نانو ذرات TiO2 ، زير لايه Si به روش كندوپاش توسط طلا در حدود 10nm به عنوان كاتاليست پوشش داده شده است. سپس نمونه ها در دماهاي 300 درجه سانتيگراد و 700 درجه سانتيگراد در فشار اتمسفر بازپخت شده اند كه نتايج حاكي از آن است كه دماي بازپخت 700درجه سانتيگراد منجر به تشكيل نانو ذرات TiO2 در فاز بلوري آناتاس مي شود.

In this work we investigate the structure and morphological properties of Tio2 nanoparticles grown by thermal evaporation method. The Si substrate was coated by Au thin film as a catalyst and then coated by Tio2 in vacuum, and annealed at different temperature in air. It can be observed from analysis the XRD, EDX and SEM images that the thin layer catalyst and annealing temperature have the most rules of formation tio2 nanoparticles.