بررسي اثر دماي باز پخت بر خواص ساختاري، اپتيكي، الكتريكي و نور رسانايي لايه هاي نازك اكسيد روي با ناخالصي آلومينيوم جايگذاري شده به روش سل-ژل (پوشش دهي چرخشي)

Investigation of post-heat temperature on structural, optical, electrical and photoconductivity properties of Al-doped Zinc Oxide thin films prepared by sol-gel route (Spin coating)

لايه هاي نازك اكسيد روي با ناخالصي آلومينيوم به روش پوشش دهي چرخشي بر روي بستر شيشه اي و در دماهاي 50 تا C° 600 تهيه و خواص ساختاري، اپتيكي، الكتريكي و نور رسانايي آنها بررسي شدند. پراش پرتو X تمامي نمونه ها، ساختار هگزاگونال وورتسايت با سمتگيري ارجح (102) را نشان مي دهد بطوريكه با افزايش دماي باز پخت، اندازه بلورك ها افزايش يافته و بلورينگي لايه ها بيشتر مي شود. طيف اپتيكي همه لايه ها، عبور بالاي 90% را نشان مي دهد. از طرفي گاف اپتيكي نمونه ها روند كاهشي دارد. مقاومت سطحي لايه ها نيز با افزايش دماي باز پخت كاهش مي يابد.

Aluminum doped Zinc Oxide (AZO) thin films prepared by spin coating route on glass substrates and their structural, optical, electrical and photo-conductivity properties were investigated in different post-heat temperatures between 450 and 600 °C. X-ray diffraction analysis revealed hexagonal wurtzite structure with (002) preferred orientation which increased in crystallite size by increasing post-heat temperature. The optical spectra of the films showed the transmittance higher than 90% within the visible wavelength region. The optical gap and surface resistance of the films decreased by increasing post-heat temperature.