تعيين پارامترهاي سطوح غيركروي با استفاده از تداخل سنج فيزو

Aspheric surface parameters measurement by Fizeau interferometer

در اين مقاله روشي جهت اندازه گيري پارامترهاي يك سطح غيركروي با استفاده از تداخل سنج فيزو ارائه ميشوند . سطح مورد نظر شامل يكي از سطوح سهموي، بيضوي و هذلولوي ميباشند . شعاع انحنا اصلي و خروج از مركز سطح پارامترهاي تعريف كننده سطح غير كروي هستند . فريزهاي تداخلي به روش جابجائي فاز تحليل ميشوند و با برازش تابع تعريف كننده سطح غيركروي بر روي داده هاي حاصل از تحليل فريزها، پارامترها مشخص ميشوند . چيدمان آزمايش و نتايج انداره گيري ارائه ميشوند .

In this paper, a method for measurement the aspheric parameter by a Fizeau interferometer is presented. The aspheric surface can be a parabola, hyperbola or an ellipsoid. The main radiuse of curvature and eccentricity are the main parameters. The fringe patterns are analysed by phase shift method and the aspheric parameters are determined by fitting the aspheric function to the data. The experimental setup and measurement result will be presented