خصوصيات حسگري هيدروژن لايه نازك اكسيد قلع با ناخالصي اينديوم جانشاني شده به روش اسپري پايرو ليزيز

Hydrogen sensing properties of Indium doped Tin Oxide thin films deposited by spray pyrolysis

در اين مقاله تاثير ناخالصي اينديوم برحساسيت لايه هاي اكسيد قلع مورد مطالعه قرار گرفته است . لايه هاي نازك اكسيدقلع بدون ناخالصي وبا ميزان ناخالصيهاي مختلف به روش اسپري پايروليزيز جانشاني شده و به منظور مشخصه يابي ساختاري لايه ها، طيف پراش پرتو X و تصوير ميكروسكوپ الكتروني روبشي براي نمونه %2 ناخالصي اينديوم مورد مطالعه قرار گرفته است . دردماهاي مختلف ميزان حساسيت لايه ها محاسبه شدكه بيشترين حساسيت در نمونه %6 ناخالصي و در دماي 200 ºc بدست آمد . روند كلي كاهش دماي كار با افزايش ميزان ناخالصي ديده مي شودتا اينكه در نمونه %15 ناخالصي دماي كار به 100 ºc كاهش مي يابد .

In this article we have studied the effect of Indium impurity on Tin Oxide layers sensitivity. Tin Oxide thin films without impurity and with different impurities are deposited by spray pyrolysis method and because of characterization of structural layers, we have studied X-ray diffraction spectrum and the image of SEM for sample with 2% impurity . In different temperatures we have calculated layers sensitivity that the most sensitivity in the sample of 6% impurity and in 200ºc was considered. with increasing of impurity concentration The total process of work temperature decreasing was noticed .this process was continued until in the 15% impurity sample the work temperature decreased to 100 ºc