بررسي و محاسبه ثابت هاي نوري لايه هاي نانو بلوري اكسيد روي با استفاده از منحني عبور نوري

Investigation and calculation of optical constants of nano-crystalline Zinc Oxide thin films using transmission spectra

لايه هاي نانو بلوري اكسيد روي با استفاده از سيستم كندو پاش RF بر روي زير لايه شيشه و بدون گرمادهي زير لايه در محيط گاز آرگون لايه نشاني شده اند . با استفاده از آناليز پراش اشعه (XRD) X و آناليز ميكروسكوپ الكتروني (SEM) ساختار بلوري و ساختار سطحي لايه هاي نانو بلوري اكسيد روي بررسي گرديده است . لايه هاي اكسيد روي در محيط گاز آرگون و اكسيژن گرمادهي شده و طيف عبور نوري آنها به كمك آناليز FTIR بدست آمده است . آناليز XRD افزايش اندازه دانه هاي اكسيد روي و جهت گيري غالب (002) را پس از گرمادهي در دماي 400 °C نشان مي دهد . با استفاده از روش Swanepoel ثابت هاي نوري لايه هاي نانو بلوري اكسيد روي از قبيل انديس انكساري و ضريب جذب محاسبه شده و تاثير فرايند گرمادهي بر روي ضرايب مذكور بررسي گشته است.

Nano-crystalline Zinc Oxide thin films were deposited using RF Sputtering with unit on glass substrates. The depositions were carried out in Ar atmosphere without substrate heating. SEM and XRD analyses were used to investigate the surface morphology and the crystallinity of the films. The transmission spectra of as-deposited and annealed films were obtained by FTIR analysis. The XRD spectrum showed increased grain size and higher c-axis oriented films for annealed samples. Using Swanepoel’s method, optical constants (such as Refractive index, Absorption coefficient and Extinction coefficient) of nano-crystalline Zinc Oxide thin films were obtained and compared to annealed samples' data