بررسي اثر دماي زيرلايه و غلظت ناخالصي بر خواص الكتريكي و اپتيكي لايه هاي نازك هادي شفاف ZnO:Al

Effect of dopant concenteration and substrate temperature on electrical, optical and structural properties of ZnO:Al transparent conducting films

در اين پروژه اثر دماي زير لايه و غلظت ناخالصي بر خواص الكتريكي، اپتيكي و ساختاري لايه هاي نازك هـادي شـفاف ZnO:Al بررسـي و تحقيـق شـده اسـت . مقاومت سطحي و ميزان شفافيت در گستره نور مرئي در اين لايه ها اندازه گيري شده است . بر اساس نتايج بدست آمده براي نمونه هاي بهينه سـازي شـده ميـزان عبـور بالاتر از 80% بوده و افزايش دماي زيرلايه به بالاتر ا ز 350 °c موجب بهبود بلورشدگي در فيلم ها شده است .

ZnO and ZnO:Al films have been grown on microscope glass substrate by spray pyrolysis and the electrical, optica land structural properties of the deposited films were characterized. The results of this study showed that their transparency are more than 80%. Films were amorphous and deposited increasing of substrate temperature above crystallized them