يك مدل دو بعدي براي گرماي القائي در سيستم رشد بلور چكرالسكي

A two-dimensional model for induction heating in Czochralski crystal growth system

در اين مقاله ابتدا يك مدل دو بعدي رياضي براي توزيع ميدان هاي الكترومغناطيسي و گرماي القائي توليد شده در سيستم رشد چكرالس كي بلورهاي اكسيد، تشريح و سپس نتايج حاصل از محاسبات عددي تجزيه و تحليل مي شوند . دو پيكربندي براي دستگاه رشد بلور چكرالسكي در نظر گرفته مي شود : ( الف ) بدون فاصله، و ( ب ) با يك فاصله بين بوته و گرم كننده جانبي فعال . نتايج نشان دهنده اين است كه در هر دو پيكربندي، بيشترين مقدار گرماي القائي در ديواره جانبي بوته ايجاد مي شود . همچنين ميزان انرژي توليد شده در گرم كننده جانبي بستگي به موقعيت آن نسبت به بوته و پيچه القائي دارد .

In this article at first a two-dimensional mathematical model is described for electromagnetic fields and induced heat generation in oxide Czochralski growth setup and then the numerical calculation results are analyzed. Two configurations are considered for the Czochralski setup: (a) without a gap, and (b) with a gap between the crucible and active afterheater. The results show that in both configurations the most of heat generation is occurred at the crucible side wall. Also the produced energy in the afterheater depends on its location with respect to the crucible and RF-coil