تأثير ضخامت بر ويژگي هاي فيزيكي لايه هاي نازك مس انباشت شده به روش كند و پاش مغناطيسي

Effect of Thickness on Physical Properties of Cu Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering

در اين مقاله تأثير ضخامت لايه نازك بر ويژگي هاي فيزيكي و ساختاري لايه هاي نازك مس انباشت شده توسط روش كند و پاش مغناطيسي جريان مستقيم را مورد بررسي قرار داده ايم. مورفولوژي سطح لايه هاي نازك مس توسط ميكروسكوپ نيروي اتمي بدست آمد. نتايج نشان مي دهد كه اندازه دانه با افزايش ضخامت، افزايش مي يابد.

In this paper, we have been investigated the influence of thickness of thin films on physical and structural properties of copper (Cu) thin films deposited by dc magnetron sputtering. Surface morphology of thin films was obtained by atomic force microscopy (AFM). The results show that the grain size become large as thickness increases