بررسي پلاسماي كند و پاش مگنتروني دي اكسيد تيتانيوم با روش طيف سنجي تابشي

Optical emission spectroscopy study of plasma in titanium dioxide magnetron sputtering

در اين مقاله پلاسماي مربوط به لايه نشاني دي اكسيد تيتانيوم با روش طيف سنجي تابشي مورد مطالعه قرار گرفته است. در اين تحقيق آزمايش اول با درصد تركيب گازي آرگون به اكسيژن به ترتيب 80 به 20 و آزمايش دوم با تركيب گازي 70 به 30 انجام شد. مشاهدات اسپكتروسكوپي نشان دادند كه در آزمايش دوم در مقايسه با آزمايش اول پيك هاي شدت مربوط به يون هاي Ti III و Ti IV كاهش پيدا كردند ، پيك مربوط به O I افزايش پيدا كرد و پيك مربوط به O II تقريبا بدون تغيير ماند كه اين امر ناشي ازكاهش ميزان گاز آرگون و در نتيجه نرخ برخورد كمتري با كاتد تيتانيومي مي باشد.

In this paper, the plasma coating of titanium dioxide has been studied by using the optical emission spectroscopy. In this study, the first test was performed in an argon and oxygen gas mixture with ratio of 80 to 20 respectively and the second test was performed in an argon and oxygen gas mixture with ratio of 70 to 30. spectroscopy Observations showed that the peak intensity of the Ti III and Ti IV ions in the second experiment compared with the first experiment were reduced, the peak intensity of the OI increased and the peak intensity of the O II almost unchanged, this results is due to the declining in the amount of argon gas and so, argon ions collision rates with titanium cathode is decreased