بررسي اثر بازپخت در خواص ساختاري و حسگري گازي لايه هاي نانو ساختار SnO2 خالص

An investigation on the effect of annealing in structural and gas sensing properties of SnO2 nanostructure thin films

به منظور بررسي تاثير باز پخت بر حسگري گازي (اكسيژن و دي اكسيد كربن) لايه هاي نازك نانو ساختار اكسيد قلع خالص نمونه هايي را به روش اسپري تفكافت لايه نشاني و در دماهاي 200 و C° 250 تحت بازپخت قرار داديم. در مشخصه يابي فيزيكي نمونه ها از طيف XRD و نيز تصاوير SEM استفاده شد. شواهد حاكي از آن است كه اگر چه اين قطعات بعد از باز پخت ساختار بس بلوري تتراگونال خود را حفظ كرده اند، لكن ابعاد دانه هاي بلور كي آنها افزايش يافته است. اين تغييرات سبب كاهش سطح تماس موثر بين اتمهاي سطح با مولكولهاي گاز شده و از ميزان حساسيت نمونه ها مي كاهد.

In order to study the effect of annealing on gas (Oxygen and Carbon dioxide) sensitivity we have grown pure tin oxide nanostructure thin films by spry pyrolysis method and annealed the samples at 200 and 250 °C. XRD and SEM measurements were used as physical characterization tools. The experimental evidences show that although after annealing the hexagonal polycrystalline nature of these layers does not change, but the grain and crystallite size of the samples increases. These variations cause a reduction in the effective surface area between surface atoms and the gas molecules and therefore reduce the gas sensitivity of these devices