استفاده از پلاسماي دو منطقه اي جهت رشد دما پايين و عمودي نانولوله هاي كربني براي كاربردهاي حسگري و صفحات نمايش گسيل ميداني

Two controllable Plasma Regions for Low Temperature Growth of Carbon Nanotubes on glass for sensors and field emission display

در اين تحقيق، روش جديدي براي رشد عمودي نانو لوله هاي كربني در دماي پايين ارائه شده است كه نانو لوله هاي كربني را براي ساخت در ميكرولنزها، حسگرها روي شيشه و صفحات نمايشي مناسب مي سازد. استفاده از پلاسماي دو منطقه اي رشد دما پايين و عمودي را ايجاد مي سازد. در اين روش از فلز نيكل به عنوان كاتاليست فلزي و از گازهاي هيدروژن و استيلن استفاده شده است. با اين روش امكان رشد نانو لوله ها عمودي در دماي 300 درجه سانتيگراد بر روي زيرلايه شيشه براي كاربردهاي متنوعي فراهم مي شود. رشد نانولولهها در دماي پايين باعث بهبود خاصيت گسيل ميداني و استفاده از آنها را در كاربرد هاي گسيل ميداني را مناسب مي سازد.

A novel method of carbon nanotubes (CNTs) growth on glass substrate is introduced in this investigation. A two stage-plasma was used to achieve low temperature and vertically aligned CNTs. Low temperature growth of aligned CNTs on glass is suitable for fabrication of micro-lens and self oriented displays. The Ni catalyst deposited on ITO/glass substrate and hydrogen and acetylene were used as gas feeds. In this study, CNT growth on glass substrate was successfully accomplished at temperatures as low as 300°C. Low temperature growth of aligned CNT makes it useful for many field emission applications