رشد نانو لوله هاي كربني در زير لايه كاتاليستي نانو ذرات مس - نيكل

Growth of Carbon Nanotubes under Cu-Ni Nanoparticles Catalyst layer

با استفاده از روش لايه نشاني همزمان RF - SputteringRF - PECVD نانو ذرات دو لايه ايي مس نيكل در بستر لايه كربني به عنوان پايه كاتاليستي براي رشد نانو لوله هاي كربني ساخته شد. نانولوله هاي كربني بر روي لايه هاي كاتاليستي مذكور به روش نشست بخار شيميايي حرارتي(ICVD) رشد داده شدند. نتايج حاصل از آناليزها بيانگر اين موضوع بود كه نانولوله ها در سطح بالايي لايه كاتاليستي هيچگونه رشدي نداشتند و رشد آنها از سطح پاييني لايه منشاء گرفته است.

Nanoparticles Cu-Ni/carbon composite films were prepared by co-deposition of RF-Sputtering and RF-PECVD method, and used as catalyst for growth CNT(carbon nano tubes).the CNT growed on the catalyst layers by Thermal Chemical Vapor Deposition (TCVD) system method. Results show that carbon nanotubes has not grown in top surface catalyst layers, but has grown in subsurface layers