تاثير زمان آنديزاسيون و غلظت الكتروليت بر حسگري گاز CO2 بوسيله سيليكون متخلخل

The effect of anodization time and electrolyte concentration on porous silicon CO2 gas sensing

در اين گزارش ما به بررسي خاصيت حسگري گاز دي اكسيد كربن توسط قطعات وابسته به سيليكون متخلخل با زمانهاي آنديزاسيون و غلظت هاي الكتروليتي متفاوت پرداخته ايم. نتايج تجربي از جمله تصاوير ميكروسكوپ الكتروني روبشي و نيز نور گسيل شده از سطح نمونه تحت تابش نور فرابنفش نشانگر آن است كه با افزايش زمان و نيز غلظت كاتاليست هاي موجود در محلول الكتروليت ميزان تخلخل سطح سيليكون رو به افزايش گذاشته و همين امر به افزايش حساسيت قطعات ساخته شده مي انجامد. مقايسه حسگري نمونه ها نشانگر آن است كه غلظت محلول الكتروليت نقش عمده اي در دستيابي به يك حساسيت بالاتر ايفاء مي نمايد.

In this article we have tried to investigate and the effect of anodization time and electrolyte concentration on CO2 gas sensing based on porous silicon. Our experimental data including the micrographs of scanning electron microscopes (SEM) and the spectral emission under UV illumination show that as the time of anodization and the electrolyte catalysers concentrations increases the porosity of the surface also increases. This in turn affect on the sensitivity of the sensors. A comparison between these device indicate that the electrolyte concentration has the dominate role in achieving a higher sensitivity