اثر پارامترهاي لايه نشاني بر روي خواص نانو ساختاري و اپتيكي لايه هاي نازك دي اكسيد تيتانيوم تهيه شده به روش اسپري پايروليزيز

Effect of deposition parameters on optical and structural properties of TiO2 thin film deposited by spray pyrolysis method

در اين تحقيق، لايه هاي نازك دي اكسيد تيتانيوم به روش اسپري پاير و ليزيز بر روي بسترهاي شيشه اي تهيه شده است. اثر دماي بستر و آهنگ شار محلول بر روي خواص اپتيكي و ساختاري لايه هاي Ti02 بررسي شد. نتايج اين بررسي نشان مي دهد كه دماي بستر و آهنگ اسپري مناسب براي تهيه لايه هايي يكنواخت با نظم بلوري، به ترتيب 450 درجه سانتي گراد و A ml / min مي باشد. گاف انرژي لايه ها در دماي C° 450 با ساختار آناتاس برابر eV 3/47 بدست آمد. با افزايش آهنگ اسپري و افزايش آهنگ لايه نشاني گاف اپتيكي از eV 3/33 به 3/5 افزايش مي يابد.

The TiO2 nanostructure thin films were prepared on glass substrates by spray pyrolysis technique. In this research the effect of deposition parameter such as substrate temperature and spraying rate has been studied. The structural and optical characterizations of films were carried out using X-ray diffraction (XRD), SEM and UV-vis transmittance spectroscopy. The results of this study showed that the suitable of substrate temperature and spraying rate for preparation of TiO2 thin films with anatase phase are 450°C and 8 ml/min, respectively. The analysis of the UV-Vis transmission spectra shows that Tio, thin films are transparent in the visible range and opaque in the UV region