بررسي تاثير دماي پوشش دهي بر روي خواص ساختاري، فازي و مورفولوژي پوشش نانو ساختار كاربيد تيتانيوم اعمال شده با فرايند پلاسما CVD پالسي

Effect of operating temperature on structural properties, phase and morphology of nanostructured titanium carbide applied by pulsed plasma CVD

پوشش نانو ساختار كاربيد تيتانيوم به دليل در بر داشتن خواص مقاومت به سايشي عال داراي كاربرد گسترده اي در صنايع مي باشد. پارامترهاي مختلفي در اعمال پوشش كاربيد تيتانيوم به روش پلاسما CVD موثر مي باشند، همانند دماي پوشش دهي، چرخه كاري و نسبت گازي. بنابراين، در ين تحقيق با استفاده از روش پلاسما CVD پالسي يك لايه نازك و نانو ساختار كاربيد تيتانيوم (TiCx) بر روي زمينه فولادي (H11) اعمال گشته و سپس تاثير دماي پوشش دهي بر روي خواص ساختاري و فازي پوشش با استفاده از AFM و XRD و SEM مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج نشان دهنده، تشكيل يك لايه همگن و يكنواخت نانو ساختار كاربيد تيتانيوم با اندازه ذرات 7 نانو متر در دماي 490 درجه سانتيگراد و چرخه كاري 33 درصد است.

Nano-structured titanium carbide coatings have been found the widespread use in the industry for excellent abrasion resistance properties. Various parameters of the plasma CVD method may be effective properties of titanium carbide coatings, such as operating temperature, duty cycle and ratio of gases. Therefore, in this study nano-structured titanium carbide (TiCx) coating were deposited on the steel (H11) by using a pulsed plasma CVD, and then the effect of operating temperature on the structural properties and phase have been studied by using SEM, XRD and AFM. The results indicate the formation of a homogeneous and uniform layer of nanostructured titanium carbide particles with a size of 7nm at 490 °C and the duty cycle is 33%.