پديدآورندگان :
قاسمي الهه ghasemi_ellahe@yahoo.com دانشجوي كارشناسي ارشد نانوفيزيك، دانشكده فيزيك پلاسما، دانشگاه آزاد اسلامي، واحد علوم و تحقيقات، تهران، ايران , پرهيزگار ساراسادات ssparhizgar@gmail.com استاديار فيزيك حالت جامد، دانشكده فيزيك پلاسما، دانشگاه آزاد اسلامي، واحد علوم و تحقيقات، تهران، ايران , الهي سيد محمد smohammad_elahi@srbiau.ac.ir دانشيار فيزيك حالت جامد، دانشكده فيزيك پلاسما، دانشگاه آزاد اسلامي، واحد علوم و تحقيقات، تهران، ايران
چكيده فارسي :
اكسيد آلومينيوم (Al2O3) داراي خواص مكانيكي برجسته‌اي مانند استحكام فشاري، سختي و همچنين ديرگدازي بالا مي‌باشد. قالب اكسيد آلومينيوم متخلخل به دليل ساخت ارزان و كاربرد فراوان در توليد نانو‌سيم‌‌‌‌‌ها با طول ثابت و سنسورهاي گازي دقيق بسيار مورد توجه است. در اين مقاله دو لايه نازك آلومينيوم با ضخامت و نرخ لايه‌نشاني يكسان در دو دماي متفاوت بررسي شد و بر اثر شرايط ساخت بر شكل‌گيري حفره‌ها پس از آندايز تاكيد شد. از نمونهها آناليز XRD، EDS، AFM و FESEM گرفته شد. نتايج پس از ساخت لايه‌نازك نشان داد با افزايش دما، در حين لايه‌نشاني، قطر ميانگين دانه و زبري سطح نمونه از nm7/166 و Å5/66 به nm9/177 و Å6/71 به‌ترتيب تغيير كرد. پس از ساخت، در مرحله آندايز، با ثابت نگه‌داشتن متغيرهايي همچون دما و PH در دو ولتاژ متفاوت، شكل تخلخل لايه اكسيدي بررسي شد. پس از آندايز نمونهها در دو ولتاژ اوليه V10 و V15، نتايج به‌دست‌آمده، حفره‌هاي منظم در ولتاژ بالاتر در نمونه‌هاي با زبري كمتر را نشان داد.
چكيده لاتين :
Aluminum oxide has great mechanical properties such as high compressive strength, hardness and refractory temperature. Porous aluminum oxide template, because of their low cost producing procedure and applications to produce nanowires with constant length and precise gas sensors, are widely in attention. In this paper, two aluminum thin films with similar thickness and sputtering rate, in two different temperatures, were investigated and the effect of producing procedure on pores formation after anodizing is emphasized. XRD, EDS, AFM and FESEM analysis were taken from samples. Results, after producing the thin film, showed that, by increasing the temperature, the average grain diameter of grain and the roughness of sampleʾs surface changed from 166.7nm and 66.5Å to 177.9nm and 71.6Å. After producing, in anodizing process, by keeping constant some parameters such as pH, temperature and anodizing time duration, in two different voltages, the porous configuration of oxide layer was investigated. After anodizing the samples, at two different initial voltages 10V and 15V, results showed regular pores on samples with higher voltages and lower roughness.
