چكيده فارسي :
خلاصه : فناوري MEMS يا فناوري سيستمهاي ميكروالكترومكانيكي ، حاصل تلفيق اجزاي مكانيكي، حسگرها، محركها و قطعات الكترونيكي بر روي يك لايه سيليكون به كمك فناوري ساخت تراشه‌هاي ميكروني است .فناوري MEMS امكان تلفيق ميكروالكترونيك را با درك فعال و اعمال كنترلي فراهم كرده، فضاي طراحي و كاربرد را بسط مي‌دهد.فناوري MEMS يا فناوري سيستمهاي ميكروالكترومكانيكي ، حاصل تلفيق اجزاي مكانيكي، حسگرها، محركها و قطعات الكترونيكي بر روي يك لايه سيليكون به كمك فناوري ساخت تراشه‌هاي ميكروني است.فناوري MEMS توانايي كشفيات جديدي را در علوم و مهندسي دارد مانند : ميكروسيستمهاي واكنشهاي زنجيره‌ا‌ي پليمراز (PCR) براي تقويت و شناسايي DNAو ميكروسكپهاي تونل‌زني پيمايشگر (STM) كه با فرآيندهاي ماشينكاري ميكروني ساخته شده‌اند و همچنين تراشه‌هاي زيستي شناساگر عوامل خطرناك شيميايي و بيولوژيكي و فناوري جهشي ميكروسيستمها جهت غربال و انتخاب سريع دارو. فناوري MEMS مزاياي متعددي دارد.فناوري گسترده‌اي است كه بالفعل مي‌تواند تأثير مهمي بر انواع توليدات تجاري و نظامي بگذارد. هم‌اكنون MEMS در هر چيزي، از نمايش فشار خون گرفته تا سيستمهاي تعليق فعال خودروها active suspension systems مورد استفاده قرار مي‌گيرد.ميكروماشين‌كاري سطحي۳ ميكروماشين‌كاري حجمي۴ و 5LIGA روش هاي كلي ساخت و متبلور شدن دي‌اكسيد سيليكون۱۴ و مقاومت نوري۱۵ و در معرض گذاشتن حكاكي نوري و توسعه آن۱۶ و قلم زدن دي‌اكسيد سيليكون و ته‌نشين شدن پلي‌سيليكون و مسطح كردن مقاومت نوري و ماسك نوري و قلم زدن پلي سيليكون و حذف مقاومت نوري و ته‌نشين شدن فلوئوريد نيكل۱۷ از مراحل اساسي ساخت MEMSها هستند
چكيده لاتين :
Abstract MEMS technology or the technology of microelectromechanical systems is the result of a combination of mechanical components, sensors, stimulators, and electrical chips on a silicon layer through micron chip manufacturing technology. MEMS technology provides the opportunity to integrate microelectronics with active perception and control, and to extend design and application scopes. MEMS technology is open to further discoveries in engineering science. These include: polymerase chain reaction microsystems (PCR) used to identify and improve DNA; scanning tunneling microscopes (STM), manufactured through micromachining processes; biochips used to identify dangerous chemical and biological factors; and microsystems employed to screen and chose medicine effectively. MEMShas multiple advantages. It can greatly affect commercial or military products. Today, MEMS systems are involved in nearly everything, from displaying blood pressure to active suspension systems in automobiles. Surface micromachining, bulk micromachining and LIGA are the general methods to manufactureMEMSs. Besides, silicon dioxide crystallization, photoresistance, photolithography exposure and its expansion, silicon dioxide etching, polysilicon deposition, flattening photoresistance, photomasking, polysilicon etching, photoresistance removal, and nickel fluoride deposition are the essential stages of in manufacturing MEMS.
