شماره ركورد كنفرانس :
3736
عنوان مقاله :
مطالعه اثر توان كند و پاش بر تشكيل فاز آناتاز در لايه هاي نازك دي اكسيد تيتانيوم تهيه شده به روش كند و پاش مغناطيسيDC
پديدآورندگان :
جامعي مريم گروه فيزيك،واحداهواز، دانشگاه آزاد اسلامي،اهواز، ايران , حقيقت زاده آزاده گروه فيزيك،واحداهواز، دانشگاه آزاد اسلامي،اهواز، ايران , مزيناني بابك گروه مهندسي مواد، دانشگاه ملاير،ملاير، ايران
كليدواژه :
دي اكسيد تيتانيوم , كند و پاش مغناطيسي dc , لايه نشاني , لايه نازك , TiO2 , DC magnetron sputtering , thin film
عنوان كنفرانس :
اولين همايش ملي فيزيك دانشگاه آزاد اسلامي
چكيده فارسي :
در اين پژوهش لايه هاي نازك دي اكسيد تيتانيوم با استفاده از روش كندو پاش مغناطيسيDC و با ضخامت 250 تا 500 نانومتر روي زير لايه شيشه تهيه شده اند. از هدف فلز تيتانيوم به صورت ورق و گاز تركيبي آرگون و اكسيژن و توان هاي كند و پاش مختلف براي لايه نشاني استفاده شده است.دستگاه پراش اشعه X (XRD) با توجه به شرايط مختلف لايه نشاني نمونه هاي آناتاز را نشان داده است.نمونه هاي با توان پايين تر ساختاركريستالي ضعيف تر ونمونه هاي با توان 300 تا 450 وات فازكريستالي بهتري را نشان داده اند. همچنين ارتباط اندازه دانه هاي سطح و زبري سطح با توان مورد ارزيابي قرار گرفته است.
