شماره ركورد كنفرانس :
3736
عنوان مقاله :
طراحي و شبيه سازي شتاب سنجMEMS خازني و بررسي اثرات ضخامت جرم موثر و شعاع حفره هاي زدايش بر روي عملكرد آن
پديدآورندگان :
زماني زهرا گروه الكترونيك،دانشگاه صنعتي مالك اشتر،تهران، ايران , پورعلي اليار گروه الكترونيك،دانشگاه صنعتي مالك اشتر،تهران، ايران , دهقان نيري فاطمه گروه الكترونيك،دانشگاه صنعتي مالك اشتر،تهران، ايران , عفيفي احمد گروه الكترونيك،دانشگاه صنعتي مالك اشتر،تهران، ايران_x000D_
كليدواژه :
شتاب سنج خازني , سيستمهاي ميكروالكترومكانيكي (MEMS) , نرم افزار COMSOL. , حساسيت
عنوان كنفرانس :
اولين همايش ملي فيزيك دانشگاه آزاد اسلامي
چكيده فارسي :
در اين مقاله طراحي و شبيه سازي شتاب سنج خازني MEMS به منظور اندازه گيري هايي با حساسيت متوسط، مورد بحث و بررسي قرارگرفته است. براي اين هدف، تمامي قسمت هاي شتاب سنج از جمله جرم موثر، فنر ها، الكترود هاي تشكيل دهنده آن بر اساس ماشين كاري سطحي پلي سيليكان تشكيل شده است. تأثير پارامترهاي مهم بر روي عملكرد شتاب سنج خازني با استفاده از نرم افزار COMSOL مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج شبيه سازي نشان مي دهند كه شتاب سنج طراحي شده، داراي سيگنال خروجي با حساسيت 1mV/g در بازه ±50g مي باشد. براي مطالعه بيشتر ساختار،برخي پارامتر ها از جمله، ضخامت جرم موثر و شعاع حفره هاي زدايش را تغيير داده و اثرات آن ها را مطالعه كرده ايم.
