شماره ركورد كنفرانس :
3746
عنوان مقاله :
A9. ساخت و مشخصه يابي لايه نازك اكسيد روي و اكسيد روي آلاييده شده با آلومينيوم و قلع در دماي پايين
عنوان به زبان ديگر :
Synthesize and characterization of thin film layers of Zinc Oxide and Zinc Oxide doped with Aluminum and Tin at low temperature
پديدآورندگان :
پزشكي حسين h.pezeshki@hotmail.com پژوهشكده نانو، دانشگاه صنعتي شريف؛ , محمدپور راحله mohammadpour@sharif.edu پژوهشكده نانو، دانشگاه صنعتي شريف؛ , تاج آبادي فريبا tajabadi@ncl.sharif.edu 2 پژوهشكده فناوري نانو و مواد پيشرفته ، پژوهشگاه مواد و انرژي، كرج؛
كليدواژه :
اكسيد روي , اكسيد روي آلاييده با آلومينيوم , دماي پايين , ZnO , ZnO dopant ,
عنوان كنفرانس :
سيزدهمين كنفرانس ماده چگال انجمن فيزيك ايران
چكيده فارسي :
هدف از انجام اين پژوهش ساخت لايه هاي نازك شفاف به روش شيميايي است. جهت دستيابي به است هدف ، اكسيد روي با استفاده از نمك هاي زينك استات،زينك نيترات و زينك كلرايد به روش سل-ژل در دماي 60 درجه سانتيگراد تهيه گرديد. سپس اكسيد روي را با Al و Sn با درصد هاي 3،2،1،0 و at%4 آلاييده كرديم. با استفاده از روش لايه نشاني چرخشي بر روي لام شيشيه اي و كوارتز به دفعات 10،6،4،2و 20 بار لايه نشاني شد. لايه ها را در دو دماي 150 و 450 درجه سانتيگراد به مدت 2 ساعت پخت داديم. با كمك UV-Vis ، دستگاه پتانشيواستات، XRD، FESEM به مطالعه لايه هاي نازك پرداختيم. سپس لايه ها را در معرض لامپ UV قرار داديم و تغييرات جريان را تحت اين شرايط نيز ثبت نموديم. طبق نتايج بدست آمده اثر تابش UV بر روي لايه ها باعث كاهش مقاومت تا دو مرتبه شد. با بررسي نتايج بهترين نمونه با عبور ميانگين 90 درصد در ناحيه مرئي و مقاومت ويژه Ω.cm 0.6 مربوط به لايه نازك اكسيد روي آلاييده با آلومينيومat% 2 با ضخامتnm 140 بود.
چكيده لاتين :
The main purpose of this research is fabrication of transparent conductive oxide laye thorough chemical method. Zinc oxide was synthesized utilizing zinc acetate, zinc nitrate and zinc chloride salts at temperature of 60 ° C by sol-gel method. Then zinc oxide has been doped using Al and Sn as dopant with the percentage of 0,1,2,3 and 4 at%. Using spin coating method for deposition on glass slide and quartz as substrates for 2,4,6,10 and 20 times. Then the layers were annealed at 150 and 450 ° C for 2 hours. The absorption and transmission of thin films were investigated by UV-Vis spectroscopic technique in 0-800 nm, We studied voltage and current changes via Potentiostat . Then the layers were exposure under UV radiation. According to the results, UV radiation on the layers reduces electrical resistance. XRD and FESEM analysis were used to characterized morphology and thickness of the layers.For visible spectrum, the maximum transmission 90% and minimum resistivity 0.6 Ω.cm were achieved for 140 nm thickness of zinc oxide layer doped by aluminum 2 at% .
