آناليز حساسيت دامنه ميكروكانتيلور پيزوالكتريك غير همگن در رطوبت هاي مختلف

ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) ابزاري قدرتمند و پيشتاز در علم نانوتكنولوژي بشمار مي آيد. مدل سازي هرچه دقيق تر ميكروكانتيلور AFM موجب پيش بيني دقيق تر رفتار ارتعاشي آن و بهبود كيفيت تصاوير مي‌گردد. استفاده ي عملياتي از يك مدل، مستلزم داشتن دانش كمّي حساسيت مدل به تغييرات پارامترهايش مي‌باشد. براي شناسايي رفتار مدل و پارامترهاي مؤثر در آن، مي‌توان از روش‌هاي آناليز حساسيت استفاده كرد. در اين راستا ميكروكانتيلور پيزوالكتريك غيرهمگن بر اساس تئوري تير تيموشنكو و با استفاده از روش المان محدود مدل سازي و شبيه سازي شده است و تاثير پارامترهاي محيطي و هندسي موثر بر دامنه ارتعاشي كانتيلور مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج نشان مي دهد كه تاثير گذارترين پارامتر بر دامنه، فاصله تعادلي نوك پراب مي باشد كه با افزايش رطوبت محيط حساسيت دامنه به اين پارامتر افزايش مي يابد.