بررسي پارامترهاي ناپايداري ميكروعملگرهاي الكتروستاتيكي يك سرگيردار بر بستري از فندانسيون الاستيك

investigation of instability parameters of cantilever electrostatic microactuators rested on elastic foundantion

صنعت خودرو، جايگاه بيشترين موفقيت تجاري سيستمهاي الكترومكانيكي به صورت شتاب سنجهاي مبتني بر سيستم-هاي ميكرو و نانوالكترومكانيكي براي فعال سازي كيسه هاي هوا است. ناپايداري عملگرهاي الكتروستاتيكي يك سر گيردار در ابعاد ميكرو در اين تحقيق مورد مطالعه قرار گرفته است. خيز تير و ولتاژ الكتريكي در حالت ناپايداري كه از پارامترهاي اساسي در طراحي عملگرهاي الكتروستاتيكي محسوب ميشوند، با استفاده از نرم افزار ميپل استخراج مي شوند. پارامترهاي ناپايداري براي مقادير مختلف ضريب فندانسيون الاستيك مورد مطالعه قرار ميگيرد. در اين تحقيق ملاحظه ميشود كه با افزايش ضريب فندانسيون الاستيك، ولتاژ الكتريكي افزايش و خيز تير در حالت ناپايداري كاهش مييابد.

The automotive industry is the most successful commercial electromechanical system in the form of accelerometers based on micro and nano-electromechanical systems for activating air bags. The instability of cantilever electrostatic microactuattor in this study has been studied. The deflection of beam and electric voltages in an unstable state, which are considered as the main parameters in the design of the electrostatic actuators, are extracted using the Maple software. The unstable parameters for different values of elastic foundantion coefficient are studied. In this research, it is observed that with increasing elastic foundantion coefficient, electric voltage increases and decreases the deflection of beam.