تاثير دماي بازپخت بر خواص اپتيكي لايه هاي نازك نيم رساناي اكسيدي In2O3 به منظور آشكارسازي بخار اتانول

در اين مقاله ساخت پوشش لايه هاي نازكIn2O3 با استفاده از روش تبخير حرارتي در ضخامت هاي 200 نانومتر با آهنگ لايه نشانيnm/s 0/1 در دماهاي بازپخت متفاوت 300، 400، 500 و ℃550 انجام شد. سپس ويژگي هاي اپتيكي لايه ها در اين دماها مورد بررسي قرار گرفت. در اين مطالعه همه نمونه هاي بازپخت شده، نشان دهنده عبور بالا در طيف نور مرئي است. در طول موج nm550 بيش ترين عبور 89% براي لايه هاي بازپختي در دماي ℃ 400 و كم ترين عبور براي لايه هاي بازپختي ℃300 به دست آمد. ضريب شكست نمونه هاي مختلف در اين طول موج، در محدوده 1 /2-7/ 1 به دست آمد. هم چنين با اضافه كردن ناخالصي قلع به اكسيد اينديوم با درصد (ITO) SnO210%+ In2O390%، زمان پاسخ 8 ثانيه را براي آشكارسازي ppm1500 بخار اتانول مشاهده كرديم.