شماره ركورد كنفرانس :
4124
عنوان مقاله :
اندازه گيري نمايه سطح با كمك نور ساختاريافته ناهمدوس
عنوان به زبان ديگر :
Surface profilometry by incoherent structured light
پديدآورندگان :
نهال ارشميد nahal@ut.ac.ir آزمايشگاه اندازه گيري اپتيكي، دانشكده فيزيك دانشگاه تهران، انتهاي خيابان كارگر شمالي، تهران؛ , حسني خسرو hassanikh@ut.ac.ir آزمايشگاه اندازه گيري اپتيكي، دانشكده فيزيك دانشگاه تهران، انتهاي خيابان كارگر شمالي، تهران؛ , تيراندازي نگين negin.tirandazi@gmail.com آزمايشگاه اندازه گيري اپتيكي، دانشكده فيزيك دانشگاه تهران، انتهاي خيابان كارگر شمالي، تهران؛
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران 1395
چكيده فارسي :
اندازه گيري نمايه سطح در علوم و فناوري هاي نوين همچون ساخت قطعات دقيق اپتيكي، صتعت نيمه رساناها، حسگرها و فيزيك سطح، پوششهاي فلزي و غيره اهميت ويژه دارد. در اين مقاله روشي نوين براي تعيين نمايه سطح آزمون بر مبناي تشكيل نقش ماره از بر هم نهي يك توري رانكي با خودتصوير ناهمدوس (اثر لاوه) يك توري همانند ديگر، كه در اثر بازتاب از سطح نمونه مدوله شده، معرفي مي شود. اندازه گيري هاي اوليه نشان مي دهند كه اين روش با وجود سادگي، از حساسيت و دقتي در حد چند نانومتر براي سطوح صاف برخوردار بوده كه قابل مقايسه با ساير روشهاي استاندارد نمايه سنجي سطح است.
