شماره ركورد كنفرانس
4124
عنوان مقاله
اندازه گيري نمايه سطح با كمك نور ساختاريافته ناهمدوس
عنوان به زبان ديگر
Surface profilometry by incoherent structured light
پديدآورندگان
نهال ارشميد nahal@ut.ac.ir آزمايشگاه اندازه گيري اپتيكي، دانشكده فيزيك دانشگاه تهران، انتهاي خيابان كارگر شمالي، تهران؛ , حسني خسرو hassanikh@ut.ac.ir آزمايشگاه اندازه گيري اپتيكي، دانشكده فيزيك دانشگاه تهران، انتهاي خيابان كارگر شمالي، تهران؛ , تيراندازي نگين negin.tirandazi@gmail.com آزمايشگاه اندازه گيري اپتيكي، دانشكده فيزيك دانشگاه تهران، انتهاي خيابان كارگر شمالي، تهران؛
تعداد صفحه
4
سال انتشار
1395
عنوان كنفرانس
كنفرانس فيزيك ايران 1395
زبان مدرك
فارسي
چكيده فارسي
اندازه گيري نمايه سطح در علوم و فناوري هاي نوين همچون ساخت قطعات دقيق اپتيكي، صتعت نيمه رساناها، حسگرها و فيزيك سطح، پوششهاي فلزي و غيره اهميت ويژه دارد. در اين مقاله روشي نوين براي تعيين نمايه سطح آزمون بر مبناي تشكيل نقش ماره از بر هم نهي يك توري رانكي با خودتصوير ناهمدوس (اثر لاوه) يك توري همانند ديگر، كه در اثر بازتاب از سطح نمونه مدوله شده، معرفي مي شود. اندازه گيري هاي اوليه نشان مي دهند كه اين روش با وجود سادگي، از حساسيت و دقتي در حد چند نانومتر براي سطوح صاف برخوردار بوده كه قابل مقايسه با ساير روشهاي استاندارد نمايه سنجي سطح است.
كشور
ايران
لينک به اين مدرک