شماره ركورد كنفرانس :
4124
عنوان مقاله :
طراحي، ساخت و درجه‌بندي نمايه‌سنج اپتو-مكانيكي براي سنجش سطوح اپتيكي
عنوان به زبان ديگر :
Designing, constructing and calibrating of Opto-Mechanical profilometer in profilometry of optical surfaces
پديدآورندگان :
توكلي ابوالفضل a.tavakoli@iasbs.ac.ir دانشكده فيزيك، دانشگاه تحصيلات تكميلي علوم پايه زنجان، , احدي اخلاقي احسان e.a.akhlaghi@iasbs.ac.ir دانشكده فيزيك، دانشگاه تحصيلات تكميلي علوم پايه زنجان، زنجان؛ مركز پژوهشي اپتيك، دانشگاه تحصيلات تكميلي علوم پايه زنجان، , درودي احمد Darudi@znu.ac.ir مركز پژوهشي اپتيك، دانشگاه تحصيلات تكميلي علوم پايه زنجان، زنجان؛ گروه فيزيك، دانشگاه زنجان، زنجان ؛
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران 1395
چكيده فارسي :
در ساخت سطوح اپتيكي مختلف مانند آينه‌هاي تخت، كروي و غيركروي، به وسيله دستگاه سايش، رصد مقدار ماده برداشته شده از سطح در مرحله سايش و تعيين نرخ سايش بسيار حائز اهميت است. در اين مقاله ابتدا به طراحي و سپس به ساخت يك نمايه‌سنج اپتو-مكانيكي مي‌پردازيم. اين دستگاه بر پايه فرود و بازتاب نور از آينه متصل شده بر‌روي حس‌گر آن كار مي‌كند. توانايي نمايه‌سنجي در محل ساخت نمونه از ويژگي‌هاي بارز اين دستگاه است. نمايه‌سنج ساخته شده به وسيله يك جابه‌جاگر پيزوالكتريك درجه بندي شد. براي حركت حس‌گر به ميزان 380 ميكرو‌متر در راستاي عمودي دقت به ميزان 30 نانومتر احراز شد. در نهايت شعاع انحنا يك عدسي تخت-محدب به اندازه 01/163 ميلي‌متر اندازه‌گيري شد و نمايه هندسي در يك راستاي قطري آن به دست آمد.
