شماره ركورد كنفرانس :
4124
عنوان مقاله :
مشخصه يابي جت پلاسماي هفت گانه اتمسفري آرگون/متان با هدف توليد پوشش‌هاي شبه الماسي
عنوان به زبان ديگر :
Characterization of seven atmospheric pressure Argon/Methane plasma jets for synthesies of diamond like carbon coatings
پديدآورندگان :
اسلامي فر محمد eslamifarm@yahoo.com گروه فيزيك اتمي و مولكولي، دانشكده علوم پايه، دانشگاه مازندران؛ , صحبت زاده فرشاد f.sohbat@umz.ac.ir گروه فيزيك اتمي و مولكولي، دانشكده علوم پايه، دانشگاه مازندران؛ , صفري رضا rezasafari.umz@gmail.com گروه فيزيك اتمي و مولكولي، دانشكده علوم پايه، دانشگاه مازندران؛ , صمدي اميد o.samadi69@gmail.com گروه فيزيك اتمي و مولكولي، دانشكده علوم پايه، دانشگاه مازندران؛
كليدواژه :
پلاسماي اتمسغري , لايه شبه الماسي , فركانس راديويي , 52
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران 1395
چكيده فارسي :
در اين مقاله مشخصه يابي جت پلاسماي هفت گانه آرگون / متان با هدف توليد لايه‌هاي شبه الماسي در فشار اتمسفري در فركانس رادويي 56 /13 مگاهرتز با ساختار خازني مورد بررسي قرار گرفت. از هفت شيشه كوآرتز به عنوان دي الكتريك بهره برده شد. الكترودهاي قدرت و زمين از جنس مس بوده و از گاز آرگون به عنوان گاز كاري اصلي و از گاز متان به عنوان گاز ثانويه و مولد پوشش شبه الماسي استفاده شد. چگونگي تاثير شار آرگون، شار متان و ميزان توان تزريقي در طول هفت جت پلاسما مورد بررسي قرار گرفت. به وسيله طيف سنجي گونه‌هاي فعال در توليد پوشش‌هاي شبه الماسي مشخص گرديد. زير لايه هدف در اين تحقيق استيل 304 بوده كه توان تزريقي جهت توليد پلاسما به وسيله يك جت پلاسما 240 وات بوده است. اتصال زير لايه به زمين در حين فرآيند لايه نشاني منجر به بالا رفتن دماي زير لايه شده است. آناليزهاي طيف سنجي رامان و تصوير برداري الكتروني روبشي مويد توليد اين لايه بوده است. نسبت ID/IG در اين آزمايش 44 /0 بوده كه مويد ميزان بالاي پيوند با هيبريداسيون sp3 در اين پوشش‌ها بوده و حاكي از كيفيت بالاي اين پوشش‌هاست.
