شماره ركورد كنفرانس :
4124
عنوان مقاله :
بررسي خواص اپتيكي فيلم هاي كربن شبه الماسي لايه نشاني به روش كندوپاش مغناطيسي جريان مستقيم
عنوان به زبان ديگر :
Investigation of optical properties of diamond-like carbon films deposited by DC magnetron sputtering
پديدآورندگان :
حسيني سيد ايمان imanhosseini@shahroodut.ac.ir دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شاهرود ، بلوار دانشگاه ، ميدان هفت تير؛ , مومني مهدي mehdy_momeny@yahoo.com دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شاهرود ، بلوار دانشگاه ، ميدان هفت تير؛ , خدادادي سعيد sepehr_phys@yahoo.com دانشكده فيزيك دانشگاه صنعتي شاهرود ، بلوار دانشگاه ، ميدان هفت تير؛
كليدواژه :
كندوپاش مغناطيسي جريان مستقيم , كربن هاي شبه الماسي , ضريب جذب , ضريب شكست , گاف نواري , سختي , , DC magnetron sputtering , diamond like carbon , absorption , refractive index band gap , 68 , 52
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران 1395
چكيده فارسي :
دراين مقاله فيلمهاي كربن شبه الماسي (DLC) ، به وسيله‌ي روش كندوپاش مغناطيسي بااستفاده از ولتاژ مستقيم بر روي زيرلايه‌هاي شيشه‌اي با ضخامت يكسان لايه نشاني شده است. هدف در اين مقاله بررسي پارامتر توان دستگاه كندوپاش بر خواص اپتيكي فيلمهاي كربني آمورف گونه مانند ، ضريب شكست (n)، ضريب خاموشي (k) ، ضريب جذب (α) و همچنين محاسبه ي گاف نواري اين فيلم‌‌ها است. اين خواص اپتيكي به وسيله ي روش بيضي سنجي و همچنين دستگاه (UV-VIS) تعيين وبا استفاده از آن‌ها ساير خواص اپتيكي محاسبه مي شوند.
چكيده لاتين :
In this work, diamond-like carbon films (DLC) were deposited by DC magnetron sputtering method on glass substrates with the same thickness. The purpose of this work is to investigate the effect of sputtering power on the optical properties of amorphous carbon films such as refractive index (n), extinction coefficient (k), absorption coefficient (α), and calculation the band gap. These optical properties determined by ellipsometery spectroscopy and also (UV-VIS) spectroscopy and calculating other optical properties.
