رشد نانو ساختار كربن شبه الماس (DLC) با استفاده از دستگاه رسوب گذاري بخارات شيميايي به كمك پلاسما

كربن شبه الماس از جديدترين ساختارهاي كربني و داراي خواص و كاربردهاي شگرفي در زمينه هاي شيمي، پزشكي، فيزيك، مهندسي و ... مي باشد [1-2]. از جمله خواص بارز آن سختي اين نانو ساختار است كه حتي از الماس نيز بيشتر مي باشد. بدين جهت توجه بسياري از پژوهشگران را بخود جلب نموده است [4-5] . در اين كار پژوهشي هدف بررسي تاثير نانو كاتاليست نيكل در رشد اين نانوساختار و با استفاده از روش رسوب گذاري بخارات شيميايي به كمك پلاسما (PECVD ) است و همچنين تاثير آن بر رشد، مورفولوژي و ساختار كربن شبه الماس بررسي مي شود .