شماره ركورد كنفرانس :
4205
عنوان مقاله :
بررسي اثر بازپخت روي خواص ساختاري لايه نازك TeO2
پديدآورندگان :
توحيدي توكل مجتمع پژوهشي شمال غرب كشور، پژوهشگاه علوم و فنون هسته 7اي، كيلومتر جاده بناب تبريز، بناب
, تقوي مهدي مجتمع پژوهشي شمال غرب كشور، پژوهشگاه علوم و فنون هسته 7اي، كيلومتر جاده بناب تبريز، بناب
, حبيبي قلعه محمود مجتمع پژوهشي شمال غرب كشور، پژوهشگاه علوم و فنون هسته 7اي، كيلومتر جاده بناب تبريز، بناب
, حيدري سريه مجتمع پژوهشي شمال غرب كشور، پژوهشگاه علوم و فنون هسته 7اي، كيلومتر جاده بناب تبريز، بناب
كليدواژه :
بازپخت , لايه نازك , نيم رسانا
عنوان كنفرانس :
هفتمين همايش ملي فيزيك
چكيده فارسي :
دي اكسيد تلوريم ) (TeO2يكي از نيمه رساناهاي مهم با خواص فيزيكي و شيميايي كه آن را براي مطالعات پايه و كاربردهاي تكنولوژيكي هم در ساختار بيشكل و هم در ساختار بلوري مناسب ميسازد، است. كاربردهاي گوناگوني در قطعات اپتيكي (از قبيل منحرف كننده، مدولاتورها، فيلترهاي قابل تنظيم،) آشكارسازهاي تابش گاما و سنسورهاي گازي دارند. بنابراين با توجه به خواص جالب آن مورد توجه محققان قرار گرفته است. دراين كار لايه هاي نازك TeO2با استفاده از روش تبخير حرارتي تهيه شده و اثر بازپخت روي خواص ساختاري آن مورد بررسي قرار گرفته است.