شماره ركورد كنفرانس :
4205
عنوان مقاله :
ارائه راهكاري ساده و نوين براي لايهبرداري فوقنرم از سطح سخت قالب آلومينا
پديدآورندگان :
عارف پور منا پژوهشكده ي علوم و فناوري نانو، دانشگاه كاشان، كاشان , الماسي كاشي محمد گروه فيزيك، دانشگاه كاشان، كاشان , رمضاني عبدالعلي پژوهشكده ي علوم و فناوري نانو، دانشگاه كاشان، كاشان
كليدواژه :
آلومينا , قالب نانوحفره اي , نانوسيم
عنوان كنفرانس :
هفتمين همايش ملي فيزيك
چكيده فارسي :
يكي از روش هاي ساخت نانوسيم؛ الكترونهشت يون هاي فلزات درون خفره هاي قالب اكسيد آلومينيوم آندي AAO مي باشد. اگر الكترونهشت تا سرريز شدن حفره ها ادامه يابد، موجب ايجاد ناهمواري هايي روي سطح قالب و پوشاندن حفره ها مي شود. اين امر مانع از آناليز سطح توسط ميكروسكوپ الكتروني روبشي SEM و ميكروسكوپ نيروي اتمي AFM مي شود. معمولاً از روش گرانقيمت و پيچيدهي سايش يوني ion milling براي لايه برداري از سطح قالب استفاده ميشود كه داراي تكنولوژي فوق پيشرفته ميباشد. ما با دستيابي به روشي ساده و مكانيكي، موفق به لايه برداري 1 μmاز سطح با زبري 10nm شديم كه تا كنون گزارش نشده است