طراحي و شبيه سازي يك ساختار جديد بهينه شده براي رزوناتورهاي مبتني بر MEMS

تا بحال تحقيقات گسترده‌اي در مورد محرك ميكرورزوناتورها انجام شده و محرك‌هاي مختلفي مانند محرك الكترواستاتيك، پيزوالكتريك و... براي تحريك معرفي شده‌اند. با اينحال استفاده از محرك الكترواستاتيك در ميكرورزوناتورها (با توجه به هزينه ساخت پايين، تلفات پايين و كنترل پذيري بالا) نسبت به ساير محرك‌ها ارجحيت دارد. در اين ساختار جديد براي طراحي رزوناتور ارائه شده است و ساختارهاي مختلف بررسي شده‌اند. ابتدا يك تحليل مكانيكي با نرم افزار Comsol 3.5 روي ميكرورزوناتور انجام شده تا ميكرورزوناتور از لحاظ ابعاد بهينه شود. ولتاژ باياس اعمالي به ميكرورزوناتور 1.1 ولت مي‌باشد و زمان سوئيچينگ بدست آمده 120 ميكرو ثانيه است.