ساخت نانوساختارهاي متخلخل سيليكوني نورگسيل، براساس زدايش شيميايي به كمك لايه فلزي

زدايش شيميايي به كمك فلز سيليكون در يك محلول آبي هيدروفلوريك اسيد و آب اكسيژنه براي ساخت سيليكون متخلخل انجام شد. در اين مطالعه، نانوذرات طلا به عنوان كاتاليزور در نظر گرفته شد و تاثير كاتاليزور با شرايط مختلف زدايش بر روي خواص اپتيكي سيليكون متخلخل ساخته شده مورد بررسي قرار گرفت. مورفولوژي نانوساختار ايجاد شده سيليكوني به وسيله ميكروسكوپ الكتروني روبشي تابش ميداني مشخصه يابي شد. نشان داده مي شود كه مورفولوژي نانوساختار سيليكوني ايجاد شده به طور قابل ملاحظه اي به ضخامت لايه كاتاليزور بستگي دارد و زمان زدايش مستقيما بر خواص اپتيكي و ساختاري سيليكون متخلخل ايجاد شده تاثير مي گذارد. عمق تخلخل نسبت به زمان زدايش افزايش مي يابد. ايجاد تخلخل در سيليكون باعث ايجاد پيك فوتولومينسانس در محدوده نور مرئي مي شود. ساختارهاي ايجاد شده كانديداي اميدبخشي براي توليد افزاره هاي اپتوالكترونيكي با ابعاد نانومتري هستند.