شماره ركورد كنفرانس :
4294
عنوان مقاله :
طراحي و ساخت پوشش پرتوشكاف چند لايه در نواحي طول موجي 5-5 /3 و 12-8 ميكرومتر
پديدآورندگان :
آكوچكيان محدثه دانشگاه صنعتي اصفهان , جان نثاري محمد شركت صنايع الكترواپتيك (صاايران) اصفهان , احمدوند حسين دانشگاه صنعتي اصفهان
كليدواژه :
پوشش پرتوشكاف چند لايه , لايه نشاني تبخير فيزيكي
عنوان كنفرانس :
بيست و سومين كنفرانس ملي اپتيك و فوتونيك ايران و نهمين كنفرانس ملي مهندسي و فناوري فتونيك ايران
چكيده فارسي :
در اين پژوهش، طراحي و ساخت نمونهاي از پوشش پرتوشكاف تيغهاي چند لايه كه قابليت تفكيك دو ناحيهي طول موجي با بيشينهي بازتاب در 5-5 /3 ميكرومتر و بيشينهي عبور در 12-8 ميكرومتر را دارد، گزارش شده است. اين پرتوشكاف تيغهاي بر بسترهي Ge و با استفاده از مواد اوليهي Ge و IR-F625 به روش لايهنشاني تبخير فيزيكي (PVD) در محفظهي خلاء توسط روش پرتو الكتروني و با بهرهگيري از روش ضخامتسنجي كريستالي ساخته شده است. در نهايت نمونهي ساخته شده داراي ميانگين بازتاب 6/ 93 درصد در محدودهي طول موجي 5-5/ 3 ميكرومتر و ميانگين عبور 1/ 96 درصد در محدودهي طول موجي 12-8 ميكرومتر است.