بررسي خاصيت حسگر اكسيژن ساخته شده از گرافن در غلظت‌هاي متفاوت

Analyzing the properties of the oxygen sensor made of graphene at different concentrations

لايه‌هاي گرافني با روش هامر سنتز و كيفيت آن با استفاده از تصاوير SEM و طيف سنجي‌هاي FTIR و Raman بررسي گرديد. سپس افزاره‌اي با پوشش نانو صفحات گرافن بر روي زيرلايه Si/SiO2 ساخته شد. ميزان حساسيت اين افزاره به شار اكسيژن در غلظت‌هاي مختلف مورد بررسي قرار گرفت. از آنجا كه گرافن سنتز شده با روش هامر p-type است حامل‌هاي بار آن در معرض شار اكسيژن، كه پذيرنده الكترون مي‌باشد، افزايش يافته و منجر به افزايش جريان الكتريكي عبوري از افزاره مي‌شود. بعلاوه نتايج نشان مي‌دهند حسگر ساخته شده داراي برگشت‌پذيري و تكرار پذيري مناسبي با پاسخ زماني كوتاه 30 ثانيه‌اي است.

The graphene layer was synthesized by Hammer s method and their quality was evaluated using SEM images and Raman and FTIR spectroscopies. Then, graphene was deposited on a Si/SiO2 substrate by spin-coating method. The sensitivity of this device to oxygen flux in different concentrations was investigated. Since graphene produce by Hammer s method is p-type, the major carriers increase under Oxygen flux, which is acceptance of electron, and increases the electrical current passing through the device. In addition, the results indicate that this sensor has a reciprocity and repeatability with a short time response of 30 seconds.